超大规模集成电路硅衬底的抛光技术有什么用?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/08 17:29:32
超大规模集成电路硅衬底的抛光技术有什么用?

超大规模集成电路硅衬底的抛光技术有什么用?
超大规模集成电路硅衬底的抛光技术有什么用?

超大规模集成电路硅衬底的抛光技术有什么用?
在半导体技术中大量使用CMP(化学机械抛光)来进行平坦化,譬如多层布线的台阶问题,介质厚度不一会导致多层布线断条,所以采用CMP来平整介质层.

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